کنڈکٹر صنعت میں لیتھو گرافی ٹیکنالوجی کی اہم پوزیشن (4)

کنڈکٹر صنعت میں لیتھو گرافی ٹیکنالوجی کی اہم پوزیشن (4)

●خصوصیات اور روشنی کی لہروں کی اینگ

اس وقت متعدد فعال لیتھو گرافی ٹیکنالوجیز کو سمجھنے سے پہلے سب سے پہلے روشنی کی لہروں کی خصوصیات کو سمجھتے ہیں۔ روشنی کی لہروں میں متعدد فریکوئنسی ہوتی ہے۔ تعدد سے مراد کسی بھی وقت وقفہ (عام طور پر ایک سیکنڈ) میں خلا میں کسی مقام سے گزرنے والی لہروں کی تعداد ہے. اس کی پیمائش کی اکائی چکر (موج)/سیکنڈ، یا ہرٹز (ہرٹز) ہے. نظر آنے والی روشنی کی فریکوئنسی کو رنگ کہا جاتا ہے جو 430 ٹریلین ہرٹز (سرخ) سے لے کر 750 ٹریلین ہرٹز (بنفشی) تک ہے. یقینا، فریکوئنسیوں کی کل حد نظر آنے والے طیف سے باہر ہے، ایک ارب ہرٹز سے کم ریڈیو لہروں سے لے کر 3 ارب ہرٹز سے زیادہ کی گاما ریز تک۔

روشنی کی لہروں کی تعدد اور توانائی

جیسا کہ اوپر بیان کیا گیا ہے کہ روشنی کی لہریں توانائی کی لہریں ہیں۔ روشنی کی لہروں کی توانائی اس کے تعدد کے متناسب ہوتی ہے: زیادہ تعدد روشنی میں زیادہ توانائی ہوتی ہے اور کم تعدد روشنی کم توانائی کی ہوتی ہے. اس لیے گاما شعاعوں میں سب سے زیادہ توانائی ہوتی ہے اور ریڈیو لہروں میں سب سے کم توانائی ہوتی ہے. نظر آنے والی روشنی میں بنفشی روشنی سب سے بڑی توانائی جبکہ سرخ روشنی میں سب سے چھوٹی توانائی ہوتی ہے.

EUV انتہائی الفشی روشنی کا محل وقوع

مذکورہ بالا اعداد و شمار میں ہم واضح طور پر طیف میں ای یو وی انتہائی الفصال بنفشی روشنی کی پوزیشن دیکھ سکتے ہیں۔ یہ ایک بہت مختصر طول موج لیتھو گرافی ٹیکنالوجی ہے، اور اس کی نمائش طول موج تقریبا 13.5nm ہے. موجودہ نظریاتی طور پر طول موج اور ایچنگ کی درستگی کے درمیان تعلقات کے مطابق، EUV ٹیکنالوجی 5nm سے نیچے عمل کے ساتھ ایچ ٹرانسسٹر کر سکتی ہے.

مربوط سرکٹ پروڈکٹ ٹیکنالوجی کی بڑھتی ہوئی طلب کے ساتھ فوٹولیتھو گرافی ٹیکنالوجی نے باریک ڈیوائس سائز تیار کرنے کی قرارداد کو مسلسل بہتر بنایا ہے۔ عالمی لیتھو گرافی ٹیکنالوجی کی پیش رفت . روایتی طور پر فوٹولیتھو گرافی کے حل کو بہتر بنانا نمائش طول موج کو مختصر کرنے اور لینس کے عددی اپرچر این اے میں اضافے سے زیادہ کچھ نہیں ہے۔ عام طور پر طول موج کو مختصر کرنا سب سے موثر طریقوں میں سے ایک ہے۔

لیکن اس وقت طول موج کو مختصر کرنے کے لحاظ سے لیتھو گرافی کے مختلف آلات فروشوں کو مشکلات کا سامنا ہے یا طول موج کو مختصر کرنا پوری صنعت کے لیے سب سے بڑا چیلنج بن چکا ہے۔ مختلف فعال لیتھو گرافی ٹیکنالوجیز میں ای یو وی ٹیکنالوجی کا سب سے کم نمائشی طول موج ہے، لیکن اس وقت اسے آگے لے جانے میں بہت مشکل ہے۔ اگرچہ 193nm روایتی آپٹیکل لیتھوگرافی ٹیکنالوجی پرانی ہے، لیکن ایمومی ٹیکنالوجی کے اضافے سے یہ تقریبا 22nm عمل تک پھیل سکی ہے۔